1、清潔指紋油
在鋪設(shè)或焊接過程中，由于手指觸摸，電池板表面會(huì)留下指紋和油漬。電池片的表面有很細(xì)的絨面結(jié)構(gòu)，所以很難清洗。油漬會(huì)阻礙電池表面對(duì)光線的吸收和利用，導(dǎo)致電池組件的發(fā)電效率下降。低溫等離子體通過電離氣體產(chǎn)生高溫高速電子束（宏觀上顯示氣體溫度較低），在軸流風(fēng)扇的作用下將電子束吹出，去除油污、指紋等。電池的表面，從而起到清潔的作用。
2、紋理表面
多晶硅光伏電池的表面需要通過制絨工藝制備一層蠕蟲狀絨面，從而提高光的吸收和利用效率。一般的制備工藝是用硝酸和氫氟酸按一定的比例對(duì)多晶硅電池表面進(jìn)行刻蝕，使硅片表面形成一層多孔硅。多孔硅可以作為吸雜中心，提高光生載流子的壽命，具有較低的反射系數(shù)。然而，多孔硅結(jié)構(gòu)松散且不穩(wěn)定，電阻和表面復(fù)合率高。。低溫等離子體的高速粒子撞擊電池片表面，一方面可以使絨面更加細(xì)致有序，另一方面也可以使表面結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定，減少復(fù)合中心的產(chǎn)生。
3、溫蝕刻
由于磷在光伏制備過程中的擴(kuò)散，電池的表面和邊緣不可避免地會(huì)摻雜磷。隨著磷的擴(kuò)散，光生電子將從前面流向后面，導(dǎo)致PN結(jié)短路，導(dǎo)致并聯(lián)電阻減小。并聯(lián)電阻反映了電池的泄漏水平，這將影響太陽能電池的開路電壓。它的降低會(huì)降低開路電壓，但對(duì)短路電流基本沒有影響。電池表面還形成了PSG（磷硅酸鹽玻璃），PSG易于吸收空氣中的水分，從而降低了電流和功率衰減。低溫等離子體可以通過粒子掃掠分解過量的擴(kuò)散磷，從而達(dá)到去除PSG的目的。
4、表面鈍化
在光伏電池的制備過程中，由于切割過程的存在，會(huì)在電池表面形成懸掛鍵。懸掛鍵可以捕獲光生載流子，限制光電流的產(chǎn)生，這是光伏電池的一種嚴(yán)重的能量損耗方法。低溫等離子體可以電離氫氣，利用氫離子修復(fù)鈍化電池表面的懸掛鍵，使硅原子恢復(fù)到穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。
5、減少死層的影響
在擴(kuò)散區(qū)，由于磷原子處于晶格間隙位置，會(huì)導(dǎo)致晶格缺陷。由于磷和硅之間的原子半徑不匹配，高濃度的磷也會(huì)導(dǎo)致晶格缺陷。因此，在硅電池的表面層中，少數(shù)載流子的壽命極低，表面層吸收短波長光子產(chǎn)生的光生載流子對(duì)電池的光電流輸出貢獻(xiàn)很小。因此，表層被稱為“死層”?！八缹印钡拇嬖谑遣豢杀苊獾?，但有些方法可以用來減少“死層”的影響。低溫等離子體的吹掃可以使表面磷原子的分布更加均勻，并促進(jìn)磷原子的正確放置，從而減少死層對(duì)電池表面的影響。
